1

爐型

臥式

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2

控制方式

PLC

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3

抽氣機組

分子泵+機械泵

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4

電源要求

3相 380/220V 50Hz

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5

總功率

32

kw

6

總體尺寸

深1500 x寬2100 x 高2200                               

mm

7

真空度

10E-4

Pa

8

使用材質

爐體及法蘭為304L材料

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加熱器為鉬鑭合金

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隔熱屏為鉬鑭合金加不銹鋼

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